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半導体ウェハ表面検査
ビジュアル & AI検査
課題
従来の ルールベースの画像処理技術に依存した既存のシステムは、30種類以上の欠陥を正確に分類することに大きな課題を抱えていました。プロセスの最適化を試みたものの、誤認識率は36%という高い数値にとどまりました。
弊社のソリューション
高度なAIアルゴリズムを導入することで、多様な欠陥を高精度で識別するという課題を克服しました。
その結果、誤認識率は36%から1%未満に大幅に低下し、弊社のソリューションの卓越した効果が実証されました。

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